虹潤溫度控制器在單晶爐設(shè)備改造中的應(yīng)用

一、摘要

       虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器適用于需要進(jìn)行高精度多段曲線程序升/降溫控制的系統(tǒng)，它可根據(jù)生產(chǎn)過程的要求，按照一定的曲線進(jìn)行控制，最多可分59段曲線對象進(jìn)行編程控制，每一段均采用PID參數(shù)設(shè)定控制，使控制更為精確可靠，方便靈活的曲線控制功能，可實(shí)時監(jiān)控曲線程序段的運(yùn)行時間和狀態(tài)，多種事件輸入功能。通過多種曲線控制輸出功能，可實(shí)現(xiàn)曲線控制暫停、曲線控制清零、曲線控制步進(jìn)等功能，并可實(shí)現(xiàn)手/自動無擾動切換。

二、產(chǎn)品的市場背景

       單晶爐是一種在惰性氣體(氮?dú)狻⒑鉃橹?環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設(shè)備。單晶爐需要控制的內(nèi)容包含晶體的直徑、溫度（功率）、原料（硅料）、泄漏率和氬氣質(zhì)量等，其中溫度控制好壞直接影響到是否成為晶體的關(guān)鍵因素。虹潤自主開發(fā)的虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器在單晶爐的溫度控制中發(fā)揮著重要的作用。

三、產(chǎn)品的主要技術(shù)原理

       1、軟件采用人工智能控制算法，通過上電自動跟蹤測量值變化，根據(jù)時間和所設(shè)定控制值的函數(shù)關(guān)系分段實(shí)現(xiàn)溫度的升溫、保溫和降溫的溫度調(diào)節(jié)

       2、根據(jù)編程的生產(chǎn)工藝曲線，可實(shí)現(xiàn)曲線的步進(jìn)、跳轉(zhuǎn)、停止、清零等功能

       3、產(chǎn)品在整個單晶路溫度調(diào)節(jié)中主要負(fù)責(zé)溫度的精準(zhǔn)控制。

四、產(chǎn)品的應(yīng)用

       虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器在單晶路溫度控制原理圖見下圖：

       電路說明：交流電源經(jīng)變壓器降壓后使用，輸出電壓25V，輸出電流28A、MJYD-JL-75為晶閘管智能模塊，內(nèi)含晶閘管和移相控制電路，輸出最大電壓450V，最大電流75A，L1為過流保護(hù)熔斷器，RSV為過壓保護(hù)阻容元件。RW為電爐絲。

       NHR-5400輸出為0-10MA電流，經(jīng)過1K電阻后，輸出變?yōu)?-10V直流電壓，滿足晶閘管模塊的輸入電壓要求。

       主要控制設(shè)備：虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器

       輔助設(shè)備：熱電偶、可控硅、固態(tài)繼電器、過壓保護(hù)阻容器件等

       根據(jù)單晶爐溫度控制的特點(diǎn)，虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器設(shè)定工藝曲線如下：

產(chǎn)品圖片:

五、結(jié)束語

       采用虹潤NHR-5400系列60段人工智能溫控器作為主核心控制系統(tǒng)以來，碲鎘汞單晶爐的控制運(yùn)行狀況良好，至今仍出現(xiàn)，可以替代進(jìn)口的控制儀表。無論從運(yùn)行實(shí)際狀況來看，還是從性價比來看，選擇NHR-5400確實(shí)能夠要求。